本文的研究主要是对半导体机台的维修和保养的研究。主要是能够从中学习到设备安全操作和维护的基本知识。而且具有设备的故障检测水平以及维修的技能。使得能够正确地进行检测和维修。学会利用维修的器具和办法来进行对设备的故障诊断、排除。以及故障分析。...

机械手臂规格机械手臂型号 STCR4160SN-300-CM被搬运物 ～300mm晶圆（其他可根据特殊晶圆的形状，材质为客户提供灵活的定制设计）晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 4軸电机类型 步进电机(采用闭环位置控制)可动范围 被搬运物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)575mm 340度 300mm搬运速度（平均） 手臂(R...

半导体车间弱电施工图，设计内容包括火灾自动报警系统、综合布线系统、广播系统、闭路电视监控系统、门禁控制系统等。弱电各系统的接地采用联合接地方式，联合接地电阻值≤1欧。...

本设备应用于半导体激光的焦距调节，适应不同种产品，进行快速切换产品线。机构简单可靠，利用螺杆微动调节焦距，具有较高精度。采用solidworks2014设计，提供可编辑的带参数源文件，并有详细的加工图纸，此机构已生产多台，并在车间良好使用，欢迎下载。...

用于半导体行业的高精尖设备，运用超声波震荡原理，将已将切割的晶片从晶圆固定板上剥离开来。本图纸为独家设计。仅供参考学习使用，严谨用于其他商业用途。...

机械手臂规格机械手臂型号 SVCR3260-040-PM被搬运物 ～300mm晶圆晶圆吸附方式 下托式/利用晶圆自重的边缘夹持式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴电机类型 全轴采用2相步进电机可动范围 手臂第3关节中心 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)520mm 330度 40mm搬运速度（平均） 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)300mm/sec...

半导体毛型硅电板倒模图，加工技术要求：1.主视图中的轮廓曲线是通过投影仪测绘得到，2.尖角倒钝去毛刺，表面抛光未标注尺寸，根据图中实际轮廓加工3.未注圆角R34.表面镀镍。图纸cad2007以上版本打开，欢迎参考。...

机械手臂型号 GCR4210-300-AM被搬运物 ～300mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 水平多关节 控制轴 4轴电机类型 AC伺服电机可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)760mm 335度 300mm搬运速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)635mm/0.8sec 335度/1.0sec 300mm/0....